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福润德真空烧结炉

更新时间:2024-09-10 08:57:54 信息编号:b0rq0q6eac27a
福润德真空烧结炉
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详情介绍

产品别名
福润德,真空烧结炉
面向地区
品牌
福润德
产地
山东
适用工件
平面
自动化程度
全自动
打印方向
双向打印

福润德真空烧结炉

青岛福润德微电子设备有限公司是一家集控制技术、真空技术、热工技术为一体的高新技术企业。
目前的主要产品有:太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、热氧化扩散炉、低压
化学气相沉积设备,真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED合金炉、LED交换炉
、高纯材料提纯氧化炉、升华炉、还原炉、精馏炉、智能温度控制系统和替代进口的扩
散炉炉体、PECVD炉体及采用德国技术生产的涡街流量计,同时承接各种微电子生产线及进口半导
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祝生意兴隆,财源滚滚!我是做半导体热处理的厂家,
公司是一家集控制技术、真空技术、热工技术为一体的
高新技术企业。有需求欢迎随时咨询!
真空炉技术指标: 
真空室工位数:1-3位
真空度:1Pa,加扩散泵为5x10-3Pa
工作温度:<1200℃
控温精度: ±1℃
充气的高压强:0.3Mpa(可控)
不锈钢内胆:Φ150mm-Φ350mmx1300 mm
恒温区:600-1200mm±1 ℃
控温方式:三点三段采用原装进口控温器
控温曲线:9段升降温/999小时
工作方式:自动或手动自由转换
正压、负压均采用数字显示表
双工位交替工作,行走X、Y方向 

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