吉林电子工业用氩气检测I第三方检测实验室

电子工业用氩气是指经过特殊提纯处理、达到纯度标准的氩气，主要应用于半导体制造、微电子器件生产、平板显示器（如LCD、OLED等）以及其他高精密电子组件加工过程中。以下是关于电子工业用氩气的一些关键特性、用途以及提取、纯化方面的信息：

特性与纯度要求：

- 惰性气体：氩气是一种单原子惰性气体，无色、无味、，化学性质极为稳定，不与其他物质发生化学反应。

- 高纯度：电子工业用氩气的纯度通常远普通工业级氩气，要求达到99.999%甚至更高（即5N或更高纯度级别），以满足电子制造中对杂质含量极低的要求。这种高纯氩气中主要杂质包括氧气、氮气、水蒸气、碳氢化合物等，都严格控制在极低水平。

主要用途：

1. 保护气体：在半导体芯片制造、薄膜沉积（如PECVD、ALD等）、刻蚀等工艺中，氩气被用作腔室内的惰性气氛，防止敏感材料与氧气、水汽等杂质接触，确保晶圆表面不受氧化、氮化等污染，维持工艺的高纯度环境。

2. 离子注入：在离子注入工艺中，氩气作为离子源气体，通过电离产生氩离子，用于改变半导体材料的电学性质。

3. 激光切割与焊接：在精密电子元件的激光加工过程中，氩气可用作辅助气体，提供保护氛围，防止热影响区氧化，提高切割或焊接质量。

4. 溅射靶材镀膜：在物理气相沉积（PVD）技术中，如磁控溅射，氩气作为工作气体，参与溅射过程，将靶材原子溅射到基片上形成薄膜。

5. 晶体生长：在半导体单晶硅、化合物半导体等晶体生长过程中，氩气作为载气或环境气体，为晶体生长提供纯净、稳定的气氛。

提取与纯化：

- 空气分离：氩气主要通过大型空气分离装置（ASU）从空气中提取。空气经过低温液化、分馏过程，氩气因其沸点介于氧、氮之间，从液态空气中得到氩馏分。

- 进一步纯化：得到的粗氩还需要通过吸附、低温精馏、催化脱氧等纯化技术，去除残留的氧气、氮气、水分及其他痕量杂质，以达到电子工业所需的高纯度标准。

- 氩气提升设备：对于小型空分装置，由于处理气量有限，可能需要配备的氩气提升设备以提高氩气的提取效率和产量。

质量监控与第三方检测：

电子工业用氩气的质量至关重要，因此在使用前通常会由第三方检测机构进行严格的纯度鉴定、杂质分析以及可能的特殊气体成分检测，确保其符合特定生产工艺的严格要求。这些检测服务包括但不限于氩气中的氧、氮、水蒸气、碳氢化合物含量测定，以及可能存在的痕量金属元素或其他有害杂质的检测。

综上所述，电子工业用氩气凭借其高度的化学稳定性、的纯度和在特定工艺条件下无可替代的作用，成为现代电子制造产业链中不可或缺的关键材料之一。从空气分离提取到多级纯化处理，再到严格的质量监控，整个产业链致力于确保氩气的品质能满足电子工业对超净环境的严苛需求。